高溫管式電爐可以采用HF（氫氟酸）作為清洗石英管試劑，當然也可以使用鹽酸、硝酸或其他組合酸，酸的濃度控制在5%以下，并配戴化學防護用品操作；高溫管式電爐嚴格控制酸的濃度及時間，防止石英管洗過了（即失透）或者清洗不干凈；高溫管式電爐酸洗完畢，請用經(jīng)過提純的去離子水洗凈石英爐管（制品），石英爐管的內(nèi)表面清洗不干凈容易產(chǎn)生析晶或者酸霧，影響石英管的透過率，進而引起損壞；

高溫管式電爐當然含有酸液的廢水不能直接排放，簡易的方法是采用塑料管道集中收集這些廢水，然后加入液體（或固體）堿中和，達到環(huán)保要求后才可以排放。